2024 年 7 月 4 日,该成果以《基于光伏纳米单元的高性能大规模集成有机光电晶体管》为题发表于《自然・纳米技术》。
芯片集成度可以分为小规模集成度 (SSI)、中规模集成度 (MSI)、大规模集成度 (LSI)、超大规模集成度 (VLSI) 和特大规模集成度 (ULSI),此前,有机芯片的制造方法主要包括丝网印刷、喷墨打印、真空蒸镀、光刻加工等,集成度通常只能达到大规模集成度 (LSI) 水平。
光刻胶又称为光致抗蚀剂,在芯片制造中扮演着关键角色,经过曝光、显影等过程能够将所需要的微细图形从掩模板转移到待加工基片上,是一种光刻工艺的基础材料。
复旦团队设计了一种由光引发剂、交联单体、导电高分子组成的新型功能光刻胶。光交联后形成了纳米尺度的互穿网络结构,兼具良好的半导体性能、光刻加工性能和工艺稳定性。该光刻胶不仅能实现亚微米量级特征尺寸图案的可靠制造,而且该图案本身就是一种半导体,从而简化了芯片制造工艺。
光刻制造的有机晶体管互连阵列包含4500×6000个像素,集成密度达到3.1×106单元每平方厘米,即在全画幅尺寸芯片上集成了2700万个器件,达到特大规模集成度 (ULSI),其光响应度达到6.8×106安培每瓦特,高密度阵列可以转移到柔性衬底上,实现了仿生视网膜应用。